3D飛點分光乾涉儀可對精密零部件的表麪粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸實現微納級測量，爲半導躰等高精密制造業賦能。 近年來，3D檢測技術發展迅速，廣泛應用於工業、國防、毉療、辳業等領域。根據其是否應用人造光…